(1)FFU过滤单元的应用
FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
(2)FFU过滤单元产品特点
★ 灵活性:因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根
据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,
FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
★ 可利用性:从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待
下次使用
★ 负压通风:这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁
净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封
变得很简单而且安全。
★ 缩短建设周期:使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大
的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
★ 减少运行成本:虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,
突出的表现出节能、免维护等特点。
(3)FFU过滤单元的应用领域
FFU过滤单元广泛应用于半导体、电子、平板显示器、磁盘驱动的厂家和光学、生物工业等,洁净生产线、洁净工作台、洁净室、组装式洁净室和层流罩等地方。
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